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A-89-3 · A-89-2 · A-89-1 ● SEMI S8-0701(SESC6.7) 대응(2001년도판)● 손잡이는 열림 또는 닫힘의 어느 위치에서도 스톱합니다. (A-89-3은 닫힐 때만)
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A-89-3 · A-89-2 · A-89-1 ●재질: A-89-1/알루미늄 합금(ADC)A-89-2・A-89-3/아연합금(ZDC) ●표면 마무리: 열처리 도장(실버 메탈릭/무광택 블랙)
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A-89-3 · A-89-2 · A-89-1 ●반도체 제조장치
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